當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 日本SMC電磁閥 > SMC電磁閥 > VQ5150-5G1SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC
簡要描述:SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC在半導(dǎo)體制造過程中,腐蝕裝置、噴鍍裝置,離子注入裝置和CVD裝置等許多部分,都要把芯片和液晶基板放在真空室內(nèi)處理,該真空室供氣、排氣(真空)用閥,要求它們無泄漏、耐腐蝕且是潔凈規(guī)格。
詳細介紹
SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC
兩種常見連接形式:
活套法蘭連接
這是閥門中用得多的連接形式。按結(jié)合面形狀又可分為以下幾種:
1)光滑式:用于壓力不高的閥門。加工比較方便。
2)凹凸式:工作壓力較高,可使用中硬墊圈。
3)榫槽式:可用塑性變形較大的墊圈,在腐蝕性介質(zhì)中使用較廣泛,密封效果較好。
4)梯形槽式:用橢圓形金屬環(huán)作墊圈,使用于工作壓力≥64公斤/平方厘米的閥門,或高溫閥門。
5)透鏡式:墊圈是透鏡形狀,用金屬制作。用于工作壓力≥100公斤/平方厘米的高壓閥門,或高溫閥門。
6)O形圈式:這是一種較新的法蘭連接形式,它是隨著各種橡膠O形圈的出現(xiàn),而發(fā)展起來的,它在密封效果上比一般平墊圈可靠。
產(chǎn)品樣本:
螺紋連接
這是一種簡便的連接方法,常用于小閥門。又分兩種情況:
1)直接密封:內(nèi)外螺紋直接起密封作用。為了確保連接處不漏,往往用鉛油、線麻和聚四氟乙烯生料帶填充;其中聚四氟乙烯生料帶,使用日見廣泛;這種材料耐腐蝕很好,密封效果,使用和保存方便,拆卸時,可以完整地將其取下,因為它是一層無粘性的薄膜,比鉛油、線麻得多。
2)間接密封:螺紋旋緊的力量,傳遞給兩平面間的墊圈,讓墊圈起密封作用。
小型&大容量
設(shè)置容積減少42%、設(shè)置面積減少26%
VQ4000可驅(qū)動缸徑為Φ160的氣缸
VQ5000可驅(qū)動缸徑為Φ180的氣缸
●省電 消耗電力:0.4W(低功率型)
●壽命長:1億次(根據(jù)本公司條件)
SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC
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